石英软领为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往用保温棉存在的两大问题:一是保温棉长时间在高温下出现粉化脱落从而影响工作腔体洁净度,二是手动堵塞保温棉不均匀,影..
■ LED**炉特点 ◆ 关键件全部采用进口件,具有高可靠性 ◆ 具有可编程的升、降温功能 ◆ 具有断电报警、**温报警、极限**温报警等多种安全保护功能。 ◆ 具有高抗干扰能力 ◆ 具有多种工艺管路,可供用户随意灵活配置 ★ 赛瑞达可
空炉(vacuum furnace)是真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛中用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2~10-4)h。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热,也可用高频感应加热。较高温度可..
扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。 控制系统 控制部分包括:温控器、功率部件、**温保护部件、系统控制。 系统控制部分有四个独立的计算机控制单元,分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分,是扩散/..